英諾激光回應(yīng)了提問(wèn)：可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光，理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm...
2021-07-30 15:41
來(lái)源: 深交所互動(dòng)易
影響力評(píng)估指數(shù)：20
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投資者問(wèn)：固態(tài)激光光源的優(yōu)點(diǎn)是可變波長(zhǎng)，可以產(chǎn)生深紫外光、極紫外光。理論上355nm激光光源經(jīng)一次曝光后可變?yōu)?75nm，二次曝光后變?yōu)?6nm，經(jīng)多次曝光后理論上可以應(yīng)用于28nm以上光刻機(jī)。請(qǐng)問(wèn)理論上這是可行嗎？公司是否有開(kāi)展光刻機(jī)的研究計(jì)劃？謝謝
英諾激光(301021)：激光器的光學(xué)設(shè)計(jì)較為復(fù)雜，本著對(duì)負(fù)責(zé)的態(tài)度，公司無(wú)法簡(jiǎn)單答復(fù)您是否可行。敬請(qǐng)諒解！公司未來(lái)發(fā)展計(jì)劃請(qǐng)關(guān)注公司公告。
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