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上海微系統(tǒng)所衛(wèi)星激光通信用高精度MEMS快反鏡取得進展

2025-05-07 10:53    來源: 云財經(jīng)    影響力評估指數(shù):17.21  
云財經(jīng)訊,中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感器技術(shù)全國重點實驗室研制的MEMS快反鏡的鏡面尺寸大,封裝體積小。線性度高,角分辨率佳,響應(yīng)速度快,重復定位精度高,鏡面動態(tài)形變小。
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