云財經(jīng)訊，近日，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所蔡艷研究員團隊與歐欣研究員團隊合作，通過“萬能離子刀”剝離轉移技術，在六吋圖形化SiN晶圓上集成了高質量的鈮酸鋰薄膜，并通過晶圓級工藝制備出具備高速數(shù)據(jù)傳輸能力的異質集成薄膜鈮酸鋰電光調制器。該異質集成方案中，氮化硅與薄膜鈮酸鋰形成混合波導，鈮酸鋰薄膜無需刻蝕加工，簡化了工藝流程。該工作不僅對全流程晶圓級制備硅光異質集成薄膜鈮酸鋰電光調制器進行了探索，而且為未來硅光平臺與薄膜鈮酸鋰進行晶圓級異質集成的量產(chǎn)奠定了一定基礎。