晶盛機(jī)電12英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備順利交付
2025-12-24 11:34
來源: 云財(cái)經(jīng)
影響力評估指數(shù)：15.9
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云財(cái)經(jīng)訊，近日，晶盛機(jī)電(300316)在碳化硅(SiC)核心裝備領(lǐng)域取得重大突破，12英寸單片式碳化硅外延生長設(shè)備順利交付全球頭部SiC外延晶片生產(chǎn)商瀚天天成。此次研發(fā)的12英寸單片式SiC外延設(shè)備可兼容8、12英寸SiC外延生產(chǎn)，其獨(dú)創(chuàng)的垂直分流進(jìn)氣方案，實(shí)現(xiàn)了晶圓表面溫度高精度閉環(huán)控制、工藝氣體精確分區(qū)控制等技術(shù)，同時(shí)設(shè)備配備了自動化上/下料模塊及一鍵自動PM輔助功能，大幅提升顆?？刂颇芰途S護(hù)效率。
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